冷阱冷卻溫度：

-45℃

除濕量：

500mL/回（1回＝24小時(shí)）

設(shè)置·顯示方式：

手動(dòng)輸入設(shè)置·數(shù)字顯示

安全機(jī)能：

真空泵自動(dòng)運(yùn)行、真空度監(jiān)視、槽內(nèi)溫度監(jiān)視、漏電·電流過高保護(hù)器、冷凍機(jī)超荷繼電器

真空解除功能：

電源關(guān)閉時(shí)自動(dòng)解除、停電時(shí)自動(dòng)解除

冷阱解凍功能：

熱氣體解凍方式

冷凍機(jī)·冷媒：

250W·HFC

真空泵·排氣量：

自選·50L/min以上

真空計(jì)：

數(shù)字顯示0.0~533.0Pa，zui小0.1Pa

冷阱尺寸·容量：

Φ83.1×277H mm 約1.5L

伺服電源：

真空泵用1個(gè)  MAX.10A

外部尺寸·重量：

195（263）W×440（475）D×790H·32kg

冷阱冷卻溫度：

-45℃

除濕量：

1L/回（1回＝24小時(shí)）

設(shè)置·顯示功能：

手動(dòng)輸入設(shè)置·數(shù)字顯示

安全機(jī)能：

漏電·過電流保護(hù)器、冷凍機(jī)保護(hù)回路、服務(wù)插座用保險(xiǎn)絲、控制面板自我診斷功能

真空解除功能：

真空自動(dòng)放氣閥

冷阱解凍功能：

熱氣體解凍方式

其他功能：

真空泵自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)功能、真空度·冷阱溫度監(jiān)視功能、停電復(fù)位功能

冷凍機(jī)：

350W·HFC（R404A）

真空泵·排氣量：

自選·50L/min以上

真空計(jì)：

皮拉尼真空計(jì)（數(shù)字顯示）0.4~533Pa

冷阱尺寸：

Φ200×175H mm

真空排氣量：

50L/min以上

伺服電源：

真空泵用1個(gè) MAX.6A
凍干倉(cāng)用1個(gè)  MAX.2A

外尺寸·重量：

450W×420D×440H·約35kg

冷阱冷卻溫度：

-80℃

除濕量：

1L/回（1回＝24小時(shí)）

設(shè)置·顯示功能：

手動(dòng)輸入設(shè)置·數(shù)字顯示

安全機(jī)能：

漏電·過電流保護(hù)器、冷凍機(jī)保護(hù)回路、服務(wù)插座用保險(xiǎn)絲、控制面板自我診斷功能

真空解除功能：

真空自動(dòng)放氣閥

冷阱解凍功能：

熱氣體解凍方式

其他功能：

真空泵自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)功能、真空度·冷阱溫度監(jiān)視功能、停電復(fù)位功能

冷凍機(jī)：

400W×2·HFC（R404A·R23）

真空泵·排氣量：

自選·50L/min以上

真空計(jì)：

皮拉尼真空計(jì)（數(shù)字顯示）0.4~533Pa

冷阱尺寸·材質(zhì)：

Φ153×225H mm·SUS304

伺服電源：

真空泵用1個(gè) MAX.6A
凍干倉(cāng)用1個(gè)  MAX.2A

外尺寸·重量：

450W×550D×935H·約67kg